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產品詳情

  • 產品名稱：FMA-A2000系列OMEGA氣體質量流量計/控制器

  • 產品型號：FMA-A2102-SS
  • 產品廠商：美國OMEGA
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
精度為±1%，線性模擬輸出，成本低，采用熱感技術，可測量高達100 SLM的流量，內含電源
詳情介紹：

FMA-A2000系列OMEGA電子質量流量計／控制器性能出眾、 功能多樣、設計先進、外形緊湊。FMA-A2000利用毛細管式熱感技術直接測量氣體的質量流量。無需進行溫度、壓力或平方根校正。FMA-A2300／2400系列配備LCD顯示屏，并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。

FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質 量流量。要查看完整列表，請參閱下一頁的量程表。 FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。

OMEGA的質量流量控制器利用內部電磁比例閥控制質量流量。可以通過內部電位器設定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號。

規格

精度：滿量程的±1%（包括線性度）

重復性：滿量程的±0.15%或者更佳

量程比：100:1

響應時間：5秒

氣體環境溫度：0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)

溫度系數：每1°C為滿量程的0.05%或更佳

壓力系數：每psi為滿量程的0.01%或更佳

zui低壓力要求：

流量計：1英寸水柱

zui大流速為1 SLM的控制器：1 psi

流速大于20 SLM的控制器：20 psi

質量流量控制器的壓差：<5 LPM，5 ~ 50 psi（標準）；>5 LPM，20 ~ 40 psi（標準）

氣體zui大壓力：

聚甲醛：250 psig

316不銹鋼：500 psig

泄漏完整性：1 x10-6 cc/min氦氣或更佳

接液部件：

標配：聚甲醛、氟橡膠O形圈

選配：316不銹鋼、氟橡膠O形圈

連接口：? FNPT（標配）；

?"壓合接頭（適用于所有不銹鋼型號流量計）

輸入／輸出連接口：9針sub-D連接器

控制信號：0 ~ 5 Vdc

控制閥：常閉電磁閥

輸出信號：線性0 ~ 5 Vdc（zui小負載1000 ?），4 ~ 20 mA（環路電阻500 ?）

安裝螺紋：

316不銹鋼殼體：6?32"螺紋

聚甲醛材料：#4/6自攻螺絲

輸入電源：

流量計：24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）

控制器：24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）

重量：1.25 kg (2.75 lb)（含電源）

外形尺寸：參見圖紙

美國OMEGA氣體質量流量計/控制器


量程表

代碼

SCCM

代碼

SLM

代碼

SLM

0

0~10

6

0~1

14

0~35

1

0~20

7

0~2

15

0~40

2

0~50

8

0~5

16

0~45

3

0~100

9

0~10

17

0~50

4

0~200

10

0~15

18

0~55*

5

0~500

11

0~20

19

0~60*

—

—

12

0~25

20

0~65*

—

—

13

0~30

21

0~70*

—

—

—

—

22

0~75*

—

—

—

—

23

0~100*

訂貨信息：

型號

說明

FMA-A21(*)

不帶顯示屏的質量流量計，可選量程范圍從0~10SCCM到0~100SLM

FMA-A22(*)-SS-(**)

不帶顯示屏的質量流量控制器，帶控制閥，可選量程范圍從0~10SCCM到0~50SLM，316不銹鋼殼體

FMA-A23(*)

帶顯示屏的質量流量計，可選量程范圍從0~10SCCM到0~100SLM

FMA-A24(*)-SS-(**)

帶顯示屏的質量流量控制器，帶控制閥，可選量程范圍從0~10SCCM到0~50SLM，316不銹鋼殼體

配件：

型號

說明

FMA-200PWA

備用插座式插接電源（90 ~ 260 Vac）

SSLK-14-14

316不銹鋼壓合接頭，1?? NPT，1??"外徑管

配備操作手冊、9針sub-D連接器、電源及NIST校準（無數據點）。

* 請插入頁面頂部量程表中的量程代碼，湊齊訂購型號。

** 指定氣體、入口／出口壓力和溫度。

欲購可選316不銹鋼殼體儀表，請將后綴“-SS”添加到型號中（需付額外費用）（1?4"壓合接頭為標配）。對于FMA-A22與FMA-A24控制器，不銹鋼殼體是標配。

注：所有指定的控制器流量范圍均針對20 psig時的氮氣或空氣；在用于其它氣體時，需要使用相關系數確定流量。

要獲得5測量點NIST校準證書，請將后綴“-NIST5”添加到型號中（無額外費用）。

要獲得10測量點NIST校準證書，請將后綴“-NIST10”添加到型號（需付額外費用）。

訂購示例：

FMA-A2316，帶顯示屏的質量流量計，針對20 psig入口壓力和室溫的氮氣而校準，量程0 ~ 45 SLM。?P: 5 ~ 20 psi。

FMA-A2102-SS，316不銹鋼殼體質量流量計，不帶顯示屏，量程0 ~ 50 SCCM。

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